Сводные характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов
Выписка из технических условий ТУ-3648-003-42186869-2008
Насосы турбомолекулярные вакуумные предназначены для откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), за исключением углеводородов, агрессивных газов, паров и их смесей, воздействующих на конструкционные материалы насосов, создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Области применения вакуумных турбомолекулярных насосов:
- масс-спектрометрия, ускорители элементарных частиц, электронная микроскопия, ядерные исследования;
- физика поверхности и газовый анализ, производство электровакуумных приборов;
- течеискание, производство полупроводников;
- создание безмасляного форвакуума для электрофизических средств откачки – магниторазрядных, испарительных (геттерных) и криогенных насосов, комбинированных (ионно-геттерных) насосов, постов, агрегатов и т.д.
- физика поверхности и газовый анализ, производство электровакуумных приборов;
- течеискание, производство полупроводников;
- создание безмасляного форвакуума для электрофизических средств откачки – магниторазрядных, испарительных (геттерных) и криогенных насосов, комбинированных (ионно-геттерных) насосов, постов, агрегатов и т.д.
Насосы поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Для эксплуатации турбомолекулярных насосов необходима форвакуумная система. Питание турбомолекулярных насосов осуществляется от специального блока питания (в дальнейшем – БПТ), не входящего в комплект поставки насоса.
Примеры условного обозначения при заказе вакуумного турбомолекулярного насоса:
- насоса с быстротой действия 100 л/с с впускным присоединительным фланцем корпуса насоса по РД 11 868.006: "Насос НВТ-100-ФР ТУ 3648-003-42186869-2008";
- насоса с быстротой действия 400 л/с с впускным присоединительным фланцем корпуса насоса по ОСТ 11 868.007: "Насос НВТ-450-ФО ТУ 3648-003-42186869-2008";
- насоса с быстротой действия 1000 л/с с впускным присоединительным фланцем корпуса насоса по ГОСТ 26526: "Насос НВТ-1000-ФГ ТУ 3648-003-42186869-2008".
Основные технические параметры вакуумных турбомолекулярных насосов
Техническая характеристика |
НВТ-100 ФР |
НВТ-100 ФО |
НВТ-100 ФГ |
НВТ-450 ФР |
НВТ-450 ФО |
НВТ-450 ФГ |
Быстрота действий насоса по воздуху (без защитной сетки на входе) в диапазоне давлений 1*10-2 - 1*10-4 Па, ± 20%, не менее, л/с |
100 |
100 |
100 |
400 |
400 |
400 |
Предельное остаточное давление насоса (при выпускном давлении не более 6 Па), Па |
1*10-5 |
1*10-6 |
1*10-6 |
1*10-5 |
6,5*10-6 |
6,5*10-6 |
Время разгона, мин |
7 |
7 |
7 |
10 |
10 |
10 |
Частота вращения, с-1 |
466±5 |
466±5 |
466±5 |
410±8 |
410±8 |
410±8 |
Общие уровни виброуско-рений, замеренные в горизонтальной плоскости впускного фланца насоса, в установившемся режиме, не более, дБ |
90 |
90 |
90 |
90 |
90 |
90 |
Охлаждение |
воз-душное |
воз-душное |
воз-душное |
водяное |
водяное |
водяное |
Вид смазки |
консис-тентная |
консис-тентная |
консис-тентная |
консис-тентная |
консис-тентная |
консис-тентная |
Максимальная температура прогрева входного фланца насоса, °С |
45 |
45 |
45 |
45 |
45 |
45 |
Ответный входной (высоковакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец опорный 100
РД 11 868.006 |
Фланец с зубом 100
ОСТ 11 868.007 |
Фланец Ду-100
ГОСТ 26525 |
Фланец опорный
160 РД 11 868.006 |
Фланец с зубом 160
ОСТ 11 868.007 |
Фланец Ду-160
ГОСТ 26526 |
Ответный выпускной (форвакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 16 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11.868.005 |
Габаритные размеры, не более, мм* |
180х180х 200 |
200х200х 210 |
152х152х 215 |
250х260х 300 |
280х280х 290 |
250х260х 280 |
Масса, не более, кг* |
6 |
9 |
8 |
22 |
28 |
27 |
Рекомендуемый БПТ |
БПТ-100 |
БПТ-100 |
БПТ-100 |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
Максимальная потребляемая БПТ мощность, не более, В*А |
100 |
100 |
100 |
500 |
500 |
500 |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
3НВР-1Д, 2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
Техническая характеристика |
НВТ-1000 ФР |
НВТ-1000 ФО |
НВТ-1000 ФГ |
01АБ-1500-004 ФО |
Быстрота действий насоса по воздуху (без защитной сетки на входе) в диапазоне давлений 1*10-2 - 1*10-4 Па, ± 20%, не менее, л/с |
1000 |
1000 |
1000 |
720 |
Предельное остаточное давление насоса (при выпускном давлении не более 6 Па), Па |
1*10-5 |
1*10-6 |
1*10-6 |
6,6*10-7 |
Время разгона, мин |
15 |
15 |
15 |
20 |
Частота вращения, с-1 |
360±8 |
360±8 |
360±8 |
360±8 |
Общие уровни виброуско-рений, замеренные в горизонтальной плоскости впускного фланца насоса, в установившемся режиме, не более, дБ |
90 |
90 |
90 |
80 |
Охлаждение |
водяное |
водяное |
водяное |
водяное |
Вид смазки |
консистентная |
консистентная |
консистентная |
масляная |
Максимальная температура прогрева входного фланца насоса, °С |
45 |
45 |
45 |
100 |
Ответный входной (высоковакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец опорный
250 РД 11 868.006
|
Фланец с зубом 250 ОСТ 11 868.007 |
Фланец Ду-250
ГОСТ 26526 |
Фланец с зубом 250 ОСТ 11 868.007 |
Ответный выпускной (форвакуумный) фланец насоса, мм
|
Фланец 40 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11 868.005 |
Фланец 40 ОСТ 11 868.005 |
Фланец Ду-63
|
Габаритные размеры, не более, мм* |
330х330х280 |
410х410х280 |
310х310х300 |
420х420х430 |
Масса, не более, кг* |
30 |
39 |
40 |
58 |
Рекомендуемый БПТ |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
БПТ-1000 |
Максимальная потребляемая БПТ мощность, не более, В*А |
500 |
500 |
500 |
500 |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
2НВР-5ДМ |
НВР-16Д |
* размеры и масса указаны без транспортных заглушек
По согласованию с Заказчиком возможно исполнение насоса турбомолекулярного 01АБ-1500-004 с высоковакуумным фланцем Ду=250 мм РД11.868.006.
Гарантии завода-изготовителя насосов
Изготовитель гарантирует работоспособность вакуумных турбомолекулярных насосов при соблюдении условий транспортирования, монтажа, хранения и эксплуатации оборудования. Гарантийный срок эксплуатации составляет 12 месяцев со дня ввода в эксплуатацию, но не более 18 месяцев со дня отгрузки насоса потребителю.
Блоки питания вакуумных турбомолекулярных насосов типа НВТ
Характеристика блока питания |
Тип насоса |
|||
НВТ-100 |
НВТ-450 |
НВТ-1000 |
||
| Выходное напряжение на активной нагрузке | Напряжение, В
|
3х(25±2)
|
3х(42±2)
|
3х(42±2)
|
Частота, Гц
|
466±5
|
410±8
|
360±8
|
|
Выходной фазовый ток на активной нагрузке в длительном режиме работы, не более, А
|
1,5 |
4,5 |
4,5 |
|
Пусковой фазовый ток на активной нагрузке, не более, А
|
6,5 |
7 |
8 |
|
Очередность фаз
|
Правая (A, B, C)
|
Правая (A, B, C)
|
Правая (A, B, C)
|
|
Подключение БПТ к насосу через разъем |
Розетка РП-10-11 «3» ГЕ0.364.004 ТУ |
Розетка РП-10-7 «3» ГЕ0.364.004 ТУ |
Розетка РП-10-7 «3» ГЕ0.364.004 ТУ |
|
Перечень цепей управления насоса: A B C Внешняя защита Внешняя защита |
Разъем контакта 1Б 3Б 5Б 2А 4А |
Разъем контакта 1Б 3Б 5Б 2А 4А |
Разъем контакта 1Б 3Б 5Б 2А 4А |
|
Сигнализация и управление
|
БПТ должен обеспечивать управление работой насоса и сигнализацию:
- о включении насоса; - о режиме работы насоса: ПУСК или РЕЖИМ; - о защите насоса (защита насоса от перегрузок, термозащита) |
|||
Рекомендуемый тип БПТ
|
БПТ-100
КВЛН 435.221.002
|
БПТ-1000
КВЛН 435.221.001
|
БПТ-1000
КВЛН 435.221.001
|
|
Мощность, потребляемая БПТ, не более, В*А
|
100 |
500 |
500 |
|