Посты вакуумные ионно-геттерные ПВИГ-100/160-9-018
Посты вакуумные ионно-геттерные ПВИГ-100/160-9-018 предназначены для безмасляной откачки из вакуумных систем газов и газовых смесей (воздуха), получения высокого и сверхвысокого вакуума. Посты вакуумные ионно-геттерные ПВИГ-100/160-9-018 применяются в составе вакуумно-технологического оборудования.
В основе работы поста ПВИГ-100/160-9-018 положен принцип поглощения газов распыляемым геттером и способность разрядной ячейки Пеннинга откачивать газы. Для повышения быстроты откачки газов, в том числе инертных, пост выполнен комбинированным и состоит из испарительной и магниторазрядной частей, заключенных в общий корпус.
Посты поставляются исполнения УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150. Питание поста вакуумного ионно-геттерного ПВИГ-100/160-9-018 осуществляется от специального блока питания, не входящего в комплект поставки насоса.
Посты вакуумные ПВИГ-100/160-9-018 выпускаются только в одной модификации присоединительного фланца корпуса: по ГОСТ 26526 (ФГ ).
Технические характеристики постов вакуумных ионно-геттерных ПВИГ-100/160-9-018
Характеристика |
ПВИГ-100/160-9-018 |
|
Наибольшая быстрота действия магниторазрядной части в одной из точек интервала давлений от 1*10-3 до 1*10-7 Па, л/с |
- по азоту |
100 |
- по аргону |
20 |
|
Наибольшая быстрота действия поста при совместной работе магниторазрядной и испарительной частей по азоту в одной из точек интервала от 1*10-6 до 1,5*10-8 Па, л/с |
250 |
|
Наибольшее давление запуска в работу магниторазрядной части поста, Па |
1,0*10-1 |
|
Наибольшее давление запуска испарительной части, Па |
1,0*10-6 |
|
Наибольшее рабочее давление магниторазрядной части, Па |
1,0*10-3 |
|
Предельное остаточное давление, Па |
1,5*10-8 |
|
Питание поста осуществляется от центализованного источника специального питания * |
||
Присоединительный фланец корпуса насоса по ГОСТ 26526 ( ФГ ) |
- Dу, мм |
100 |
- Габаритные размеры насоса (+5 max), мм |
470 х 175 х 350 |
|
* Допускается магниторазрядную часть поста питать от блока питания БПМ-0,25.
Наша фирма ООО "Призма" имеет возможность по ТЗ заказчика разработать и изготовить вакуумные насосы по аналогии сходные с имеющимися, но с другими параметрами.